日前，中科院高能所多学科中央光学团队基在北京同步辐射装配BSRF以及晶体试验室实现了衍射极限程度的波前检测以及晶体加工技能。高能同步辐射光源HEPS光束线设置装备摆设的又一项要害技能取患了冲破性进展。

年夜块硅单晶体是硬X射线单色器及谱仪的焦点光学元件，而晶体的外貌描摹升沉、加工粉碎层以及晶格应力等诸多要素城市对于X射线波前孕育发生严峻影响，从而粉碎相关性以及衍射极限聚焦。对于在前几代同步光源，因为光束相关尺寸小，纵然是高相关要求的纳米探针或者者相关散射束线，也只有求晶体可以或许遴选出较小的局部规模连结波前便可。而作为衍射极限程度的第四代同步辐射光源，HEPS的相关尺寸较三代光源超出跨越约2个量级，要责备光束规模里得到完善波前，这对于晶体的加工威力提出了严重的应战，是国际上第四代光源配合面对的技能应战之一。

该团队于X射线晶体试验室已经开发的晶体加工工序根蒂根基上，经由过程引入一种新的柔性化学机械抛光要领，实现了全光束口径近厘米规模内超高精度波前连结的晶体加工。同时，该团队还立异性地提出了双刃波前检测的要领，解决了相关性有余、不变性有余和入射波前畸变几项要害问题，于第一代同步辐射光源上实现了衍射极限程度的波前检测，为波前连结的晶体加工工艺摸索提供了高精度检测手腕。

2022年7月BSRF公用光时期，该团队于1B3B测试束线上，验证了自研双刃波前检测装配�����APP的机能，并哄骗该装配以日本入口国际前沿程度的 晶格无侵扰 晶体作为参照样品，开展了自研晶体以及参照晶体的波前检测对于比试验。成果显示，于晶体上50 m横向空间分辩率下，该装配的单次扫描斜率检测精度到达25～50 nrad RMS，波前高度检测精度高达1.5pm RMS；自研晶体波前精度到达60～100 nrad RMS，与参照样品（70～100 nrad RMS）基本处在统一程度，满意HEPS光束线指标要求。

团队成员负担PAPS光学体系、HEPS测试束线以及光学设计体系等多个工程使命。接下来，团队还将进一步优化试验前提，晋升波前检测威力，完美晶体加工工艺。

图1 晶体双刃波前检测试验

图2双刃法单次扫描波前检测偏差25.8nrad 1.5 pm RMS

图3 自研柔性化学机械抛光晶体，波前精度61.7nrad 6.0pm RMS

图4 日本入口 晶格无侵扰 晶体，波前精度73.2nrad 7.8pm RMS

图5 团队现场所影

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